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反射式膜厚測量儀

更新時間:2024-08-16

簡要描述:

SR系列反射式膜厚儀可用于測量半導(dǎo)體鍍膜,手機觸摸屏ITO等鍍膜厚度,PET柔性涂布的膠厚等厚度,LED鍍膜厚度,建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測量膜厚的場合。

訪問次數(shù):3633廠商性質(zhì):代理商

反射式膜厚測量儀

SR系列反射式膜厚測量儀可用于測量半導(dǎo)體鍍膜,手機觸摸屏ITO等鍍膜厚度,PET柔性涂布的膠厚等厚度,LED鍍膜厚度,建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測量膜厚的場合。SR可用于測量2納米到3000微米的膜厚,測量精度達到0.1納米。 在折射率未知的情況下,還可用于同時對折射率和膜厚進行測量。

此外,SR還可用于測量樣品的顏色和反射率。樣品光斑在1毫米以內(nèi)。A3-SR進行測量簡單可靠,實際測量采樣時間低于1秒。配合我們的Apris SpectraSys 軟件進行手動測量,每次測量時間低于5秒。Apris SpectraSys支持50層膜以內(nèi)的模型并可對多層膜厚參數(shù)進行測量。Apris SpectraSys 軟件還擁有近千種材料的材料數(shù)據(jù)庫,同時支持函數(shù)型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光學(xué)(Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz),混合型(Maxwell Garnett, Bruggeman)EMA 等折射率模型。

同時,客戶還可以通過軟件自帶數(shù)據(jù)庫對材料,菜單進行管理并回溯檢查測量結(jié)果。目標應(yīng)用:半導(dǎo)體鍍膜,光刻膠玻璃減反膜測量藍寶石鍍膜,光刻膠ITO 玻璃太陽能鍍膜玻璃各種襯底上的各種膜厚,顏色測量卷對卷柔性涂布光學(xué)膜其他需要測量膜厚的場合.


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產(chǎn)品型號和系統(tǒng)設(shè)置:

產(chǎn)品型號

A3-SR-100

產(chǎn)品尺寸

W270*D217*H90+H140

產(chǎn)品圖片


測試方式

可見VIS 反射(R)

波長范圍

380nm - 1050 nm

光源

                                              進口 鎢鹵素?zé)?/span> 壽命10000小時

光路和傳感器

光纖式(FILBER,進口 )+進口光譜儀

入射角

0 (垂直入射)  (0 DEGREE)

參考光樣品

硅片

光斑大小

About 1 mm(標配,可以根據(jù)用戶要求配置)

樣品大小

10 mm TO 300 mm (可以根據(jù)用戶要求配置)

 

光學(xué)測量技術(shù)參數(shù)(OPTICAL SPECIFICATION

測試方式

反射

 


 

膜厚測量性能指標(THICKNESS SPECIFICATION):

產(chǎn)品型號

A3-SR-100

厚度測量1

15nm - 100 um

折射率1(厚度要求)

大于100nm

準確性2

 2 nm 0. 5%

精度3

0.1 nm

1表內(nèi)為典型數(shù)值, 實際上材料和待測結(jié)構(gòu)也會影響性能

2 使用硅片上的二氧化硅測量,實際上材料和待測結(jié)構(gòu)也會影響性能

3 使用硅片上的二氧化硅(500納米)測量30次得出的1階標準均方差,每次測量小于1.

 

軟件(SOFTWARE)

檢測項目

標準型

層數(shù)

10

材料

表格型和函數(shù)型

粗糙度模型

反射/透射

反射型+透射型

材料庫

表格型+函數(shù)型

入射角

垂直入射

折射率測量

 


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